HAP-100系列氣墊隔振平臺

 HAP-100系列高精度氣墊隔振平臺于2000年研制成功。該系列產品獲得了上海市科技進步二等獎。HAP-100系列高精度氣墊隔振平臺具有非常優異的垂直和水平方向的隔振性能。產品廣泛應用在光學、精密計量、精密測量、生物、醫學、微電子、半導體等各個領域。

產品數據表

型號Model

臺板尺寸(mm)

平臺整體高度（mm）

Z大載荷(kg)

螺孔孔徑

螺孔距(mm)

支撐腿數量（只）

長度

寬度

臺板厚度

HAP-0906

900

600

50

800

200

M6

25

4

HAP-0906

900

600

100

800

400

M6

25

4

HAP-1208

1200

800

100

800

800

M6

25

4

HAP-1509

1500

900

100

800

800

M6

25

4

HAP-1510

1500

1000

100

800

800

M6

25

4

HAP-1511

1500

1100

100

800

800

M6

25

4

HAP-1810

1800

1000

200

800

800

M6

25

4

HAP-1812

1800

1200

200

800

800

M6

25

4

HAP-2010

2000

1000

200

800

800

M6

25

4

HAP-2012

2000

1200

200

800

800

M6

25

4

HAP-2015

2000

1500

200

800

800

M6

25

4

HAP-2412

2400

1200

200

800

800

M6

25

4

HAP-2415

2400

1500

300

850

800

M6

25

4

HAP-2518

2500

1800

300

850

800

M6

25

6

HAP-3012

3000

1200

300

850

800

M6

25

6

HAP-3013

3000

1300

300

850

800

M6

25

6

HAP-3015

3000

1500

300

850

800

M6

25

6

HAP-3512

3500

1200

300

850

800

M6

25

6

HAP-3513

3500

1300

300

850

800

M6

25

6

HAP-3515

3500

1500

300

850

800

M6

25

6

HAP-4015

4000

1500

300

850

800

M6

25

8

HAP-5015

5000

1500

300

850

800

M6

25

8

HAP-6015

6000

1500

400

850

3000

M6

25

8

主要性能指標

載荷能力：

Z大1000kg

充氣壓力：

Z大0.6Mpa

固有頻率：   

垂直方向：空載：1～1.7Hz     滿載：0.8Hz

水平方向：空載：1.1～1.7Hz   滿載：1.0Hz

Z大動撓度系數:

1.1×10﹣3

Z大相對位移:

0.22nm

臺面平面度:

0.10mm/m2